据外媒报道，比利时微电子研究中心（IMEC）已成功利用阿斯麦最先进的极紫外光刻（EUV）设备，实现了纳米孔的全晶圆级制造。阿斯麦公司公关负责人将此称作其公司设备“一项出人意料的卓越生物医学应用”。

据了解，纳米孔是直径仅数纳米的微小孔道，基于分子与纳米孔相互作用原理可用于生物医学传感器，经该技术制备的纳米孔能实现对单个分子的检测与识别，调整尺寸还可拓展应用场景。现有纳米孔制备方法存在缺陷，而此次研究实现量产化、高精度与可重复性，有望解决纳米孔传感器技术落地难题。

【在线研讨会邀请】

COMSOL 多物理场仿真在先进封装中的应用将于12月30日（周二）15:00开启！本次研讨会将聚焦仿真技术在先进封装中的实操应用，诚邀半导体行业从业者、技术研发人员参会交流，助力高效解决封装技术难题！点击立即报名：https://www.siscmag.com/seminar/into/20251230?invitation_code=SiSC